Труды ФТИАН. Т27. Квантовые компьютеры

Код товара: 4253068

613.00 руб.

RUB

В наличии

Купить в один клик

Добавить в закладки

Добавить цитату

Доставка

Доставим в любой уголок мира.

Оплата

Оплачивайте покупки при получении.

Лояльность

Любые ситуации разрешаются в пользу покупателей.

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России. Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Характеристики Труды ФТИАН. Т27. Квантовые компьютеры


ISBN	978-5-02-040089-4
Автор	Нет автора
Вес	248 г
Год издания	2018
Издательство	Наука
Количество страниц	138
Переплет	Мягкий
Тип товара	Книга
Формат издания	1x17x23 см
Язык издания	русский